的晶圆。
这是一块高质量晶圆,目前国内还没有突破3英寸这个尺寸。林强生这里算是填补了国内的空白。
“兰英,这里一个月的产能是多少?”王守武向林兰英问道。
林兰英很快的说道:“这里的一台单晶炉可以装2.28寸热场,2.28寸热场可装料量31KG,改进了单晶硅生长数据之后,一台单晶炉每月能拉制出56根单晶棒。车间内有40台这样的单晶炉,一个月的单晶硅产量在2.4吨左右。长700mm的单晶棒,每根最多能够切割出2333片硅晶片。”
林兰英继续说道:“这个车间的产量很高,这种新式的单晶炉至少比国内现在所用的单晶炉提高了10倍的效率,我建议国内大力普及这项热屏技术,还有林强生提供的氢氧化钡坩埚涂层。据我们的实验这种涂层很有潜力,将能让石英坩埚达到长寿命,经过我们的实验已经有连续开了100炉还无损坏现象的涂层配方,这种涂层在当今世界上绝对处于技术领先水平!”
王守武等半导体专家此次来滨城就是来考察由林兰英带领的硅单晶实验小组对封闭式单晶炉的测试情况,经过林兰英的介绍,看样子这位在国内开创制造了开口式硅单晶炉的发明人也十分推崇这种封闭式炉的设计。
王守武点了点头对大家说道:“现在我们遇到了千载难逢的发展契机,这种单晶炉和涂层配方能让我们国内的硅单晶制备水平提高一大步,研究所应该重视这两项技术,而且我们要向四机部尽快报告这个情况!兰英同志,你看林强生那里是否愿意向国内转让技术。你和他谈过吗,他有什么条件?”
提起林强生,林兰英笑着说道:“王副所长,我这个本家还是很爱国的。林强生本人很愿意向我们转让这两种技术,这没有什么问题。但我觉得,咱们还要与林强生加强合作,这种封闭式硅单晶炉采用了大量的自动化技术,没有自动化控制这种单晶炉就和废铁没有什么两样。我们通过大量的实践工作,掌握了一套操作流程。使用这种单晶炉就是人离了设备也能自动生产自动停止、自动提升,一两个操作员就可以控制好几台单晶炉,这套机器设备的自动化程度非常高!您看这里,这是一台微型计算机,这里边有一套操作程序是国外的产品,林强生有自动化控制方面的人才,为我们了解这套程序提供了很大的帮助。我们想要大力推广这套产品还是要和自动化研究所合作,最好是请林强生帮助,他那里有现成的自动化软件。”
王守武和众人聊了几句后说道:“这样我们见一见林强